芯片制造详解01:从沙子到晶圆

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引子:

最近两年,整个半导体行业一直处在中美对抗的风口浪尖上,和设计比起来,国产芯片更多被卡脖子的地方在于制造。具体一点,就是制造过程中一系列关键设备和材料,包括但不限于光刻机,光刻胶,薄膜沉积设备,离子注入机等等这些基本被国外大厂垄断的核心步骤.我会在以后的系列里,进行详细的讲解,让你明白芯片是怎么一步一步做出来的,顺便也会分析一下国产芯片之路上,到底还要迈过哪些坎。

首先,简单梳理一遍用沙子造芯片的基本流程:拿intel的科普短视频为例,它自己起的标题就叫“From Sand to Silicon,the making of a chip”,大厂这么说的原因,是因为目前主流芯片,仍然是硅基芯片,硅和贵金属不同,是一种烂大街的元素,在地壳中的含量,高达26.3%,仅次于氧,而硅和氧一起,就组成了自然界随处可见的沙子,主要成分为二氧化硅。

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所以造芯片的第一步,就是要把二氧化硅还原成硅锭(Silicon ingot)。再经过提纯和直拉法,取出一根长长的硅棒,然后对这根硅棒进行切割研磨和抛光,片出一张张光盘一样的硅片(raw wafer)。再送往晶圆厂,通过光刻和蚀刻,雕刻出晶体管的物理结构,并通过离子注入和覆膜等手段,赋予其电特性。这样数以亿计的电子器件及其对应的逻辑电路,在这些不断重复的工序中成型,成为一张晶圆上的数百枚芯片,最后将他们切割分离,并进行封装测试,就完成了一个个芯片的制造。

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今天我们就从沙子说起,看一看片中,从沙子到黑棒,这10秒的情节里,藏了多少细节,要怎样才能从一堆不起眼的沙粒中,取出一根黑长直的大棒子。首先,用来制造芯片的沙子,不是工地上那种河沙,而是硅含量更高的硅石,主要成分和沙子一样,是二氧化硅。芯片的前世,一共要经历三生三世,熔炼提拉。这前前前世,分别为硅石,到硅锭,硅锭到磨砂款硅棒(多晶硅),磨砂款到镜面款硅棒(单晶硅)。

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1 冶炼硅锭

我们先说第一步,硅锭的制作,这里要用到坩埚(炼金用的),又叫矿热炉,或者电弧电炉,通常直径为12米,材质为石墨,中间还有两根三米长的石墨电极用来加热。石墨和钻石一样,是碳的一种同素异形体,熔点高达3800摄氏度,膨胀系数却很小,这就使得石墨坩埚成为了最理想的冶炼设备。在坩埚中,放入约60吨左右的硅石,再加入约25吨的煤炭和木屑,在2000摄氏度的高温作用下,二氧化硅逐渐熔化,并与碳元素产生了神奇的化学反应——还原反应,这里的主反应,是二氧化硅与碳,生成硅单质与一氧化碳。次级反应,则发生在炉内温度较低的区域,生成碳化硅。如果炉内二氧化硅的含量够高,碳化硅就可以作为中间产物,继续转化为硅和一氧化碳,冶炼出的硅液经过冷凝,就得到了相对纯洁的硅锭。

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这就是纯度约为98%-99%的冶炼级工业硅。虽然仍含有少量的铁和铝等杂质,但已经是化工,冶金和建筑等行业的重要材料。

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中国工业硅的产量约为全球的65%,毕竟炼金术对于工业门类齐全的中国来说,只是基本功而已,也没有复杂的技术门槛和设备要求。而且炼硅的成本有40%是电热炉消耗的电力。所以相对便宜的电价,也是中国产硅的有利条件。但对于半导体行业而言,99%的纯度,还远远不够。

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2 精炼多晶硅

所以第二步,就是工业硅的提纯,这一步,业界主流的做法是借助氯化氢气体进行提纯,由于最早是西门子公司于1955年开发出来的,所以又称西门子法(Siemens-Verfahren).具体操作,是把硅锭粉碎成渣,在325度的高温下,硅渣会与氯化氢反应,生成氢气和目标产物的三氯硅烷。这一步的主要杂质,包括三氯化铁,三氯化铝以及四氯化硅等气体。利用这些气体不同的沸点,我们可以通过冷凝器和蒸馏塔,对温度的控制,分离出沸点较低的三氯硅烷气体。接下来则是要把高纯度的三氯硅烷再还原成固态硅。做法是在1100摄氏度的高温环境中,通入氢气,生成硅,氯化氢和四氯化硅。

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在这个温度下,只有硅是固态,所以在反应炉中会看到,黑色的硅慢慢生长出来。大约一周的时间,能积累250公斤左右的硅棒,硅含量可以高达99.999999999%(一共11个9)。不过此时的硅棒,还是磨砂款的,表面坑坑洼洼,这是因为这一步制造出来的是多晶硅,指的是其晶体框架结构不均匀,整体是由众多不规则的小晶体构成的。这个阶段生产的多晶硅,可以用于光伏行业,比如制作太阳能组件和电池板。

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2019年,中国多晶硅产能,占比高达69.2%,稳居世界第一。国内的龙头厂商,比如保利协鑫,新特能源,通威,大全都还在持续扩产。打的德国瓦克之类的海外老牌大厂丢盔弃甲。总之到多晶硅这一步,我们不仅没有被卡脖子,而且优势很大。不过芯片更多需要的是晶格均匀连续,电学性质稳定的单晶硅。

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3 制造多晶硅

所以第三步,要把磨砂款的多晶硅棒,变成镜面款单晶硅。这一步,业内主流的制法,是采用柴可拉斯基法(Czochralski Process) .棒子。具体做法,是在石英材质的坩埚中,加热熔化上一步获得的高纯度多晶硅。石英的熔点约1700摄氏度,硅的熔点约1400摄氏度,这里一般温度控制在略高于硅的熔点,然后将一小条晶种,也就是一条细小的单晶硅作为种子,浸入硅熔液,再缓慢的向上,旋转提拉,被拉出的硅熔液,因为温度梯度下降,会凝固成固态硅,从视觉上看就是,细牙签进去,大棒子出来。

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而拉出来大棒的粗细和质量,取决于工作温度、旋转速度和提拉速度。这里提醒大家注意一个细节,在传统工艺里,大棒顶端往往有一段直径几毫米的脖子。这是因为在晶种刚接触溶液时,会因为热冲击,使晶体发生高频次的滑移位错,导致最开始的一段,容易出现大量晶体缺陷,所以在刚开始时,先用高速提拉(6mm/min),拉出一段10厘米左右的脖子,让位错现象趋缓,直至完全消失之后,再降低速度开始拉大直径的硅棒。此时凝固的硅棒,就和晶种一样,是光滑的单晶硅。但细脖子的存在,就限制了单根硅棒的重量。如果拉一半断掉,就尴尬了。所以直径8英寸的硅棒,一般拉6米长,12英寸的大棒,一般就拉1米5.除了提拉法.

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其他制作单晶硅的方法还有一些:比如浮带法(Floating-Zone process),又叫区域熔炼法。是在多晶硅棒上,套上一个环形加热器,创造一个狭窄且可以平行移动的熔融区域,相当于将硅棒分段熔融再凝固,利用固相何液相的杂质差,实现单晶硅的精炼和纯化。这种做法因为不使用坩埚,就可以避免提拉法中因为容器带去的杂质成分。不过提拉法也有自己的好处,比如可以在坩埚的熔液里直接掺杂,也就是加入硼磷等材料,生产出与纯硅电学性质不同的杂质半导体。掺杂是芯片生产中道重要的工序,以后在详细讲解。现在我们就完成了第三步,从多晶硅棒精炼成了单晶硅棒,将其切成薄片,就是制作芯片的原材料,生产晶圆的硅片。

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所以这一步拉出来的硅棒,会决定晶圆的尺寸,你想做8英寸的晶圆,就得要拉得细一点;你想要12英寸的晶圆,就得拉粗一点。硅棒直径和最大提拉速度之间的关系,可以利用熔液,硅棒与辐射热量三者之间的热平衡进行估算。以12英寸的晶圆尺寸为例,1米5的硅棒,需要拉8小时左右,理论上直径当然是越粗越好,因为单个晶圆面积越大,造出的芯片就越多,分摊下来的成本就越低。但同时工艺难度和设备费用,也会直线上升。比如一座8英寸的晶圆厂,要花16亿美元,而12英寸的厂子,则需要30-40亿美元.不得不感叹,做芯片真的烧钱。

总结:

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总结一下,现在我们已经完成了从沙子里取出一根硅棒,接下来要切成硅片,准备开始芯片的前端生产。当然切片本身就没那么简单,要经历滚磨,倒角,精研,背面粗糙,化学机械抛光等等一系列操作,这些步骤的技术门槛,逐渐升高,对精细加工的要求逐渐变态,也正是从这一阶段开始,我国的产能占比和自主化程度下降,芯片的国产之路,也将迎来首个被卡脖子的环节。

目前硅片市场主要控制在5家公司手中,分别是日本的信越化工和胜高集团,其次是台湾地区的环球晶圆,德国的Siltronic (世创),以及韩国的SK Siltron,他们加起来,控制了全球90%的硅片供应,具体的市场分析以及制造细节,将在下一节继续。

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以上信息来自谈三圈bilibili 视频,谢谢作者的详细讲解

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